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半導體和LED照明產業

最初,熱式質量流量計和控制器是在1970年代為半導體制造過程中的氣相沉積而開發的。由于市場需求以及在氣體、液體和蒸汽輸送方面引進新的更好產品的需要,Bronkhorst稱為半導體、平板顯示器和LED行業的主要供應商。針對化學氣相沉積(CVD)、平板顯示器噴涂(FPD)和原子層沉積(ALD)工藝,Bronkhorst可為直接液體注入系統提供金屬密封流量儀表。

應用案例

  • 切割(激光)前在晶片上沉積保護層
  • 金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)
  • 原子層沉積(ALD)
  • 超臨界流體定量給料和控制(如超臨界二氧化碳清洗)
  • 平板顯示器(FPD)噴涂

應用案例

在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行氮氣吹掃

在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行氮氣吹掃

目前先進的技術要求在生產過程中對氣體進行更好的流量控制,以提高產量并降低這些氣體的使用成本。

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超臨界氣體測量與控制

當流體例如二氧化碳(CO2)在氣液兩相臨界區域處,難以測量它們的流量。建議使用科里奧利質量流量計。

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超臨界氣體測量與控制